半導體廢氣處理

半導體污染防治而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜,其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統,與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有 ......

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東服企業(半導體廢氣處理設備)-東服企業(半導體廢氣處理設備)1996年東服企業有限公司成立研發部門,並獲美商CONQUER TEC.全力技術支援,並於1998年生產第一台中國人自行組裝之廢氣處理設備,在台灣半導體界造成轟動,由於品質及價格之優勢配合強大客戶服務支援,成為各半導體廠爭相採購之機台,並擊敗日本.韓國.德國 ......

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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ...改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ... 本案例乃應用LP-CVD製程廢氣特性,分別將製程廢氣導入適用之廢氣處理設備,亦即乾式吸附劑完全用於砷廢棄物處理 ......

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東服企業(半導體廢氣處理設備)-燃燒乾式廢氣處理機-廢氣處理設施-1111商搜網回商搜網 東服企業(半導體廢氣處理設備)>商品服務>燃燒乾式廢氣處理機 ... 商品名稱: 燃燒乾式廢氣處理機 型號:OSC–WL–001 商品原價:請電洽 商品說明: 設備產品:燃燒乾式廢氣處理機...

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使用端有害氣體清除系統有效打造友善晶圓廠全球半導體產業之廢氣處理技術領導廠商德商達思公司,日前針對濕式蝕刻清洗台應用推出使用端(Point-of-Use)有害氣體清除系統SALIX。 達思廢棄處理事業部總監Guy Davies博士表示:「此系統完全是因應客戶需求而開發。之前有一家...

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