在貓的眼中,你幫牠清便便等於是....
Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University 蒐集....XD 電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 ... ‧感應耦合型電漿(Inductively coupled plasma, ICP) –亦稱為變壓器耦合型電漿(Transformer coupled plasma, TCP) ‧電子迴旋共振(Electron cyclotron resonance, ECR) ......
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