薄膜製程

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奈米結構原子級薄膜製程技術—原子層沉積 (Atomic Layer Deposition, ALD) 系統研發成功別誤會了~其實他會這樣是因為...!!! 儀科中心約三十年前即投入真空技術研究發展，由真空元件製造著手，將技術移轉予業界生產銷售，並首先將真空極限推至 10 −10 Torr 超高真空領域，成為國內真空技術的研究重鎮。目前研究重點為太空級規格光學薄膜元件與奈米薄膜材料之製程與設備 ......

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薄膜製程與實務吶喊中~~~ㄚㄚ 薄膜製程與實務 張銀祐 yinyu@mdu.edu.tw 2007/02 教學目標 薄膜技術應用廣泛涉及多門學科領域，本課程將薄膜的應用與製作薄膜所用到的真空技術、熱力、電漿科技皆有所涵蓋。 本課程將引導學員認識真空、電漿、成膜機制，製作高品質薄膜的要件，薄膜 ......

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