電漿蝕刻原理

wewe

1月 5, 2012

郭靖萍

kuso

Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University 電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 ... 電漿蝕刻 反應室 • 重度離子轟擊產生大量的熱量 • 需控制溫度以保護光阻遮蔽層 ......

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動物就得動感十足

1月 5, 2012

張碧文

kuso

電漿與電弧原理 - 中興大學教職員工網頁動物就得動感十足    電漿機於乾式蝕刻 技術 12 電漿機於積體電路製造製程 13 電漿機於積體電路製造製程 14 電漿機於乾式蝕刻技術 ... 2006/6/14: 電漿與電弧原理 電漿與電弧原理 報告人 詹振能 葉姿青 林威豪 。 陽極被高速 ......

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重機！嫵媚！

1月 5, 2012

郭靖萍

kuso

凌嘉科技 - Linco Technology Co., Ltd. 重機！嫵媚！ 真 空 濺 鍍 可 應 用 之 層 面 相 當 廣 擴 ， 經 驗 證 之 應 用 領 域 包 括 電漿清潔 (蝕刻)原理 : 利用高頻的電源所產生的電漿，來帶動氣體離子轟擊基底材料，以達到表面清潔 (蝕刻)的效果。 其功能包含了：...

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這是柯南真人版吧？

1月 5, 2012

葉迎蓮

kuso

電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China尤其是包含了具能量的粒子，它們能引發許多特殊的化學與物理的反應。例如在電漿蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath) ... PIII工作原理[32]：對一浸泡於電漿密度n的平面靶材而言，當脈衝負壓V起動瞬間(約幾奈秒) ......

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真正的悲劇......

1月 5, 2012

蔡若藍

kuso

歡迎光臨~奈米實驗教學網--奈米球之乾式蝕刻真正的悲劇         奈米球之乾式蝕刻 實驗目的‖實驗器材‖ 實驗原理 ‖ 實驗方法及步驟 ‖ 實驗結果 一. 實驗目的： 氧電漿如何蝕刻有機材料 二. 實驗儀器： 1. 矽基板及 500nm 球溶液 2....

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淡定 淡定 ....

1月 5, 2012

謝盼柳

kuso

感應耦合電漿離子蝕刻技術 (I) Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch (I)淡定 淡定      1 、2、3感應耦合電漿離子蝕刻技術 (I) Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch (I) 簡介 本中心的感應耦合電漿離子蝕刻製程技術，主要是利用電漿來進行蝕刻，具有較佳的非等向性蝕刻。感應耦合電漿離子蝕刻 (ICP) 為目前矽深蝕刻最主要的技術之一，高深寬比蝕刻製 ......

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