從軍笑話
Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University在役男「體格檢查」現場,小楊使出渾身解數,企圖矇混過關。…檢查“視力”時,他裝可憐,向醫師訴苦說,自己神經、神經上都有問題,至於視力方面,那問題更大!…先是指出圖型的缺口,小楊故作姿態,推說:「偶看不清楚」、甚至於:「偶看不到!」醫師心裡有數,叫小67 高密度電漿 ‧在低壓下產生高密度電漿 ‧低壓時離子有較長的MFP,較少離子散射,增進對蝕刻輪廓的控制 ‧高密度電漿有更多的離子和自由基 –增強化學反應 –增加離子轟擊 ‧對CVD 製程而言,能在臨場同時進行沉積/...
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