免傷心
LED晶圓(外延)的成長製程 - LEDinside老師看到小朋友抓了一窩蟋蟀,為了愛護動物,老師勸小朋友:『趕快放了牠吧,不然,牠媽媽找不到牠,會很傷心的。』 小朋友說:『老師,你放心好了,我連他爸爸.媽媽.爺爺.奶奶都抓來了。』 今天來探討LED晶圓的成長製程,早期在小積體電路時代,每一個6吋的晶圓上製作數以千計的晶粒,現在次微米線寬的大型VLSI,每一個8吋的晶圓上也只能完成一兩百個大型晶片。晶圓的製造雖動輒投資數百億,但卻是所有電子工業的基礎。矽晶柱的長成 ......
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