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Alpha step(薄膜厚度輪廓測度儀)

Alpha step (薄膜厚度輪廓測度儀) 一XY平台,係藉由一驅動裝置使其產生位移;一探測機構,係設於XY平台之上方,用以測量置於XY平台上待測物之表面輪廓;一Z軸位移系統,係可將探測機構夾固其中,帶動探測機構之位移;一訊號處理模組,係與探測 ......

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