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ICP plasma中,如果只開source power, 不開bias power,會有DC Bias形成嗎? - Etching&Clean[蝕刻&清洗] - 半導體技術天地 ...

ICP plasma中,如果只開source power, 不開 bias power,是不會有有 DC Bias形成的。 bias power 是DC 電壓,source ......

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