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台灣教育網>> 公開課程>> [網路課]半導體製程介紹 -隨報隨上

課程大綱 1.I.C. Fabrication overview (I.C. 製造整體觀) - Basic Requirements : High Class Clean Room 2.Thermal Oxidation (熱氧化製程) - Liner Oxidation and Gate Dielectric Oxidation 3.Diffusion (擴散製程) - Furnaces, RTA, and RTP 4.Ion Implantation (離子植入製 ......

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