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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 大氣電漿(AP)應用於有機物清除設備之簡介 - Semicondutor Magazine

3>產業競爭愈益激烈,當所使用的玻璃基板面積越來越大的同時,成本的考量就越來越重要。不管是TFT LCD、PDP還是OLED,在製程中都一定會遇到大量的玻璃基板清洗(glass cleaning)與表面處理製程;如果可以在玻璃基板清洗製程中採用新的方法,使製 ......

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