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半導體製程及原理

圖 2.4 半導體製程 主要使用氣體之種類與用途 廢棄種類及特性 積體電路製造隨著其製程使用不同的化學物質,所產生的空氣污染物種類與特性亦不同,可歸納為酸鹼廢氣、有機溶劑逸散蒸氣、特殊毒性及燃燒性氣體 ......

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