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半導體製程技術

擴散 離子佈植 高溫, 硬光罩 低溫, 光阻光罩 等向性摻雜物濃度 非等向性摻雜物輪廓 不能單獨控制離子濃度和 接面深度 能單獨控制離子濃度和接 面深度 批量製程 批量和單晶圓製程 離子佈植和擴散的比較...

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