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紅外線光罩對準曝光機

中文名稱 紅外線光罩對準曝光機 英文名稱 Mask Exposure IR Aligner (IR Aligner) 儀器廠牌型號 德國Karl-Suss MA-4 購置年限 1996年 5月 放置地點 固態電子系統大樓 1樓120實驗室 (TEL:55609) 機台狀況 重要規格 1.Wave Length 320nm...

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