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Chapter 6 黃光微影技術

英文名稱:Mask Aligner 廠牌:資騰科技/ OAI 製程項目:紫外光曝光機 用於光蝕刻製程中之光罩圖形轉移 重要規格 光罩尺寸:光罩尺寸6“x6”&4“x4”之光罩架,5“光罩曝4”晶片,3“光罩曝2“晶片 光源:365nm(I-line),最小線寬為2μm ......

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