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奈米球的乾式蝕刻 - 國立高雄大學應用物理學系

一.實驗目的:氧電漿如何蝕刻有機材料 二.實驗儀器: 1.矽基板及500nm球溶液 2. 電漿機 3.微量滴管 4.原子力顯微鏡 三.實驗原理: 乾式蝕刻簡介 所謂的乾蝕刻,主要是利用電漿(Plasma),而非濕式的溶液來對薄膜進行侵蝕的一種技術 ......

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