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半導體晶圓廠的清潔劑

12 科學做見證.為工業 由於氟酸系列的化學藥液對矽(硅)及二 氧化矽有極強的侵蝕能力,所以在槽體容器不 能以石英材質來設計,務必以鐵氟龍(Teflon) 塑料設計,還有加熱器的部分需選擇適合低溫...

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