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實驗2 以電漿濺鍍法製作金屬薄膜

一、實驗目的 學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)製作金屬薄膜。1.瞭解真空技術的基本知識; 2.掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法; 3.瞭解真空鍍膜的基本知識; 4.學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法....

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