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磁控濺鍍的種類?? - Yahoo!奇摩知識+

磁控濺鍍機 其基本原理乃根據離子濺射原理,當高能粒子(通常是由電場加速的正離子)衝擊到固體表面,固體表面的原子和分子在與這些高能粒子交換動能後,就從固體表面飛出來,此現象稱之為「濺射」。先利用電場使兩極間產生電子,這些 ......

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