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目的: 利用電漿內的高能電子,撞及製程的氣體分 子,斷裂 化學鍵後,可提高其 活性 。 ... 原理: 利用電漿將argon游離成Ar+離子和電子,再以電場加速Ar+離子使其撞及 ......

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