驗證網址www.isu.edu.tw安全性

Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University

67 高密度電漿 ‧在低壓下產生高密度電漿 ‧低壓時離子有較長的MFP,較少離子散射,增進對蝕刻輪廓的控制 ‧高密度電漿有更多的離子和自由基 –增強化學反應 –增加離子轟擊 ‧對CVD 製程而言,能在臨場同時進行沉積/...

網址安全性掃描由 google 提供