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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 大氣電漿(AP)應用於有機物清除設備之簡介 - Semicondutor Magazine

2. 大氣電漿清潔處理技術與設備介紹[1] 2-1 化學反應 化學反應為電漿清潔的最主要機構,加速電漿中的電子,使電子與氣體分子如氧氣、氫氣反應產生氧原子、臭氧及氫原子(圖2-1-1(a)(b)),如式(1)~(3)。這些粒子的反應性非常強,一與物體反面的有機分子 ......

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