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半導體製程㆗高介電（High K）材料的介紹

6 其優點有粉粒小、組成均勻、粒徑大小均勻、鍛燒溫度降低等。但成本過高是其重大缺點。 4. 水熱合成法 其原理是使陶瓷原料在高溫高壓 溶於水 ，不同離子在水 反應後沉澱析出。此法所 製得的粉末不需經過鍛燒，直接可以成型而後...

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