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紅外飛秒雷射退火複晶矽 - 國研院奈米元件實驗室

36 紅外飛秒雷射退火複晶矽 1 1 1 2 2 1 2 摘要 利用鈦藍寶石超快雷射(Ti:sapphire laser, λ≈800 nm)對非晶矽(amorphous silicon)進行 飛秒雷射退火(femtosecond laser annealing, FLA)結晶。超短脈衝雷射導致材料的非線性 吸收效應並在材料表面產生緻密的電漿，最...

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