電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of The Republic of China
其均勻度為±10%。在高氣壓時電漿密度不均勻是由於石英板不連續 ... T. L. Lin and C. H. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys., 38 (1999) pp. 4268. H. W. Wei, K. C. Leou, M. T. Wei, Y. Y. Lin, and C. H. Tsai, J. Appl. Phys. 98, 044313 (2005). Y.Y ......