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光學顯微鏡 - Yahoo!奇摩知識+

光學顯微鏡的放大倍率 及解析度雖無法滿足許多材料表面觀察之需求,但仍廣泛應用於下列之各項應用,諸如 (1)元件橫截面結構觀察;(2)平面式去層次 (Delayer) 結構分析與觀察;(3)析出物空乏區 (Precipitate Free Zone) 的觀察;(4)差排線與過蝕刻(Overetch)凹痕 ......

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