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電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會

物理雙月刊(廿八卷二期)2006 年4 月 442 圖4 (a) 最佳後處理參數並成長懸掛單壁奈米碳管之 SEM 照片;(b) 單根橫跨約10 微米距離之懸掛的單壁 奈米碳管 [6]。 圖3 在電感式偶合電漿源化學氣相沈積系統中所合成...

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