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Cleanroom Classification Standards - 國立勤益科技大學冷凍空調與能源系

3-12 美國聯邦標準209E z增加公制單位表示室內微塵粒子的濃度,即 每立方公尺(m3)為標準。z定義以量測每立方公尺之空氣中含有 ≧0.5μm粒徑之微塵粒子數為基礎。z對量測到的微塵粒子總數取對數,所得之值...

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