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4.微機電與奈米科技 - 首頁

2012年8月4日 ... 微機電系統簡介. 利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術 ,製作微小的機械元件、光學元件與電子元件,並且將所有元件 ......

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