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CMOS MEMS 製程平台於微感測器之應用 - 微感測器與致動器產學聯盟

TSMC 標準製程,輔以一套由筆者研究團隊建立的後製程,完成CMOS MEMS 微感 測器之製造與整合。 本文希望以筆者研究團隊在國立清華大學微機電實驗室所開發 ......

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