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CMOS-MEMS 製程技術與電腦輔助微機電系統設計的 ... - 國立臺灣大學

與積體電路相容之微機電技術(CMOS-MEMS). 提供一種極為彈性且頗具發展潛力的 整合製作方. 法。其採用既有的標準化半導體製程(CMOS process). 可將微電子 ......

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