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CMOS-MEMS 製程技術與電腦輔助微機電系統設計的整合研究

本文討論以晶圓代工方式進行微機電系統(MEMS). 裝置的研究方法,同時並針對此類方式提出一種對應於現. 今積體電路設計(IC design),且可以完全適用於各種微機....

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