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科學月刊: 微機電系統的發展與應用

【一手掌控的未來革命】 半導體製程技術推進了微機電系統的發展,更將未來推向微小化的趨勢,讓世界開始在手中轉動。 作者/曲建仲(任職美商德州儀器公司) 利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術,製作微小的機械 ......

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