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Cleanroom Classification Standards - 國立勤益科技大學冷凍空調與能源系

1.無塵室等級分類:0.5μm Class 100、10000 、100000。2.無塵室設計,層流與非層流。3.無塵室量測方法,項目包括:氣流速度、壓力 ... Fed 209B 1973年 4月 1.修正氣流速度。2.修正相對溼度。3.增加Class1000。Fed 209C 1987年 10月 1.修正無塵室等級 。 ......

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