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[技術專文] LTPS TFT-LCD技術綜述 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌

本文綜述了當前製作LTPS TFT-LCD最重要步驟低溫多晶矽的各種製備方法,簡要介紹了各方法的基本原理,特別是對已經產業化的準分子雷射退火ELA和Ni誘導固相結晶技術CGS進行了概述。認為LTPS TFT-LCD技術將是未來顯示器的發展趨勢。...

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