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如光學顯微鏡,掃瞄式電子顯微鏡,X光繞射,原子力顯微鏡,歐傑電子光譜,化學分析電子光譜(或稱X光電子光譜)。 2. ... Do = 在To參考溫度下的擴散係數,cm2 sec-1; (DT=Do(T/To)2) CVD>1:(Pb-Ps)>(Ps-Peq),擴散阻抗相當大,CVD製程屬於擴散 ......

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