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第四章 TFT-LCD 產業實務分析 - 政大機構典藏:主頁

52 前段的Array 製程與半導體製程相似,製程但不同的是將薄膜電 晶體製作於玻璃上,而非矽晶圓上,包括下列幾道製程: z 薄膜:先洗淨玻璃基板,並於其上沈積出薄膜。 z 光阻:將光阻均勻塗佈於基板表面。...

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