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DU - EBEAM - AdNaNotek

電子束蒸發(E-Beam Evaporation)為透過高電壓及磁場控製電子束(Electron Beam)轟擊靶材表面,利用電子動能轉換為熱能使靶材表面到達高溫並熱蒸發至樣品。 電子束蒸發可以透過大電流使得靶材達到一般熱蒸發源(Effusion Cell)無法到達的溫度,適合用作高溫 ......

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