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靜電吸盤的基本構造和原理 - Etching&Clean - 半導體技術天地 晶片,集成電路,設計,版圖,製造,工藝,製程,封裝,測試 ...

靜電吸盤的構造和原理對很多人來說都還是很陌生的。不妨在這兒開個頭,慢慢再以對答方式把它解釋透。1。種類:基本分為兩類。 ... 簡單來說就是E-chuck會把晶背的同性電荷排斥到Wafer另一面,因為ESC power supply 或者HV ......

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