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AES(オージェ)分析でできること

AES(オージェ)分析でできること オージェ分析は、細く絞った電子線を試料に照射し、発生するオージェ電子を 分光分析することで、表面の深さ数nmの元素の種類とおおよその量を調べます。 金属、半導体などの腐食、変色、接合性、薄膜構造 ......

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