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半導體製程㆗高介電(High K)材料的介紹

1 半導體製程 高介電(High K)材料的介紹 江長凌 林煥祐 朱智謙 台灣大學化研所 隨著電子產品的高功能化需求,以及訊號傳輸的高速高頻化,被動元件與主動元件在半導體製程 需 要的數量大增。而為了提升被動元件的效能,減少被動元件的數量,將 ......

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