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退火和錶面處理對IGZO-TFT性能的影響研究--CNKI數字圖書館

退火和錶面處理對IGZO-TFT性能的影響研究,全文下載。 本文研究了磁控濺射製備的IGZO-TFT薄膜的特性和影響因素,優化了IGZO沉積條件;通過柵極......

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