無塵室設計規劃表
M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 ...