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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識 - 頁 2

FAC 根據工藝需求排氣分幾個系統? 答:分為一般排氣(General)、酸性排氣(Scrubbers)、堿性排氣(Ammonia)和有機排氣(Solvent) 四個系統。 高架 地板分有孔和無孔作用? 答:使循環空氣能流通 ,不起塵,保證潔凈房內的潔凈度; 防 ......

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