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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 化學機械研磨後的清洗中去除碳和水痕 - Semicondutor Magazine

使用有機矽酸鹽玻璃(OSG)在銅製程中作為低介電係數的介電層,使得化學機械研磨(CMP)後的晶圓清洗成為一大挑戰。由於OSG的甲醇高含量會形成疏水性的表面,而難以用水溶液來濕潤它的表面。添加界面活性劑可以改善此一問題,卻也提高了有機物污染的 ......

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          昨天看到一條微博熱搜: 男子帶著妻子和母親一起國慶出遊,途中婆媳多次鬧出矛盾,婆婆不滿兒媳處處拍照、花錢買衣服,兒媳覺得婆婆處處針對自己,最後鬧得無心戀風景,提早回程。 婆說婆有理,媳說媳有理,還真不好說誰對誰錯,但有一點是毫無疑...

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