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CMEMS ®技术 - Silicon Labs

采用批量CMOS 制造工艺生产基于MEMS 的频率控制器件 .... 低,这将对电源产生 不利影响,然而,该缺点远超过外部低寄生性带来的好处,结果,系 ..... [3] C. Lam, "A review of the recent development of MEMS and crystal oscillators and their....

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