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加速度感測器與電子羅盤的原理介紹

1990's Plasma micromachining Plasma micromachining structure(圖片提供 Kionix) MEMS在90年代有重大突破,美商Kionix開發出新製程將原本會受到引力影響的電化學液體 蝕刻改成電化學氣體蝕刻,不僅改善了電化學液體對Z軸垂直蝕刻的難度,也加強了3軸晶...

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