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微機電系統 - SUSS MicroTec

微機電系統 未來世界的創新力量 MEMS – 在同一塊晶片上使用微加工的技術將機械功能(傳感、移動、加熱)和電氣功能(開關、決定)進行整合。與一般電路的基本加工過程相同,在矽和玻璃等材料上製作的機械功能結構也採用圖形化、刻蝕、摻雜和內 ......

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