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Chapter 7 電漿的基礎原理

4. → SiH. 2. + 2H + e. − e. −. + N. 2. O → N. 2. + O + e. −. SiH. 2. + 3O → SiO. 2. + H. 2. O. • 電漿增強化學反應. • PECVD 在相對較低的溫度下得到高的沉. 積速率 ......

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