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博碩士論文 etd-0829105-222520 詳細資訊

第三章、RGA的工作原理 28 3-1、結構分析 28 3-1-1、離子源 29 3-1-2、四質質譜管 30 3-1-3、離子量測器 32 3-2、偵測原理 32 ... 殘留氣體分析儀(簡稱RGA ;Residual Gas Analyzer) 被應用於真空領域已超過三十多年,早期它們的角色僅在於真空測漏、故障 ......

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