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殘餘氣體分析儀

殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer,RGA)是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具,廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫附(thermal desorption)等目的。...

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